
توقفوا عن القلق بشأن تلف المصابيح أثناء عملية معالجة الرقائق
في المصانع التي تستخدم تقنيات إنتاج الرقائق على نطاق واسع، فإن تلف مصباح الأشعة تحت الحمراء ليس مجرد مشكلة في توقف العمل، بل هو كارثة حقيقية.
عندما يتلف أنبوب الكوارتز، فإنه لا يتوقف عن العمل فحسب، بل ينتشر شظاياه وجزيئاته على الرقائق. مصباح واحد متلف يمكن أن يدمر دفعة كاملة من الرقائق. لقد وجدنا طريقة أفضل للتعامل مع هذه المشكلة: نغلف مصابيح الأشعة تحت الحمراء في هياكل مصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ.
الحفاظ على النظافة
يمكن اعتبار هذه الهياكل بمثابة “حراس” للرقائق. نستخدم الفولاذ المقاوم للصدأ عالي الجودة لإنشاء جدار يفصل بين عنصر التسخين والرقائق.
إذا تلف المصباح بسبب الضغط الحراري، فإن الهيكل يحتوي على كل الشظايا، ولا تنتشر الشظايا إلى منطقة المعالجة، وبالتالي لا تتلف الرقائق، ويقل الضغط على الفريق.
لقد قضينا وقتًا طويلاً في تحديد السمك المناسب للهيكل. إذا كان السمك كبيرًا جدًا، فسيكون هناك ضغط حراري كبير، أما إذا كان رقيقًا جدًا، فإن الهيكل سيبدأ في الاهتزاز، مما يؤدي إلى تلف المصابيح بشكل أسرع. إنه توازن دقيق، لكنه فعال.
الاستقرار مهم
ركزنا أيضًا على الدعامات المستخدمة لدعم المصابيح. إذا انحنت الدعامات، فسيظهرت نقاط ساخنة، وهذا يؤدي إلى تلف الرقائق.
لحل هذه المشكلة، نستخدم دعامات مصنوعة بدقة عالية، بالإضافة إلى مشابك مقاومة للحرارة. المفتاح هو أن هذه المشابك تحافظ على استقرار المصابيح، لكنها تسمح لها بالتمدد عندما تسخن. إذا تم تثبيتها بإحكام جدًا، فسوف تنكسر عند زيادة الطاقة المستخدمة.
التضحيات اللازمة
لا شيء مثالي. إضافة هيكل حول المصابيح يعني وجود طبقة معدنية بين مصدر الحرارة والرقائق.
ستلاحظ وجود تأخير حراري مقارنة باستخدام مصابيح بدون هيكل. ربما ستحتاج إلى تعديل إعدادات الـ PID أو زيادة الطاقة المستخدمة للحفاظ على معدلات التسخين المطلوبة.
الخبر الجيد هو أننا صممنا هذه الهياكل بحيث يمكن استبدالها بسهولة في الأنظمة الحالية، دون الحاجة إلى تفكيك الجهاز بالكامل. إنها طريقة سريعة للحصول على مزيد من الراحة النفسية.