في أرض المصنع، أنت تعرف المخاطر. يمكن أن يؤدي انحراف بدرجة 1 مئوية أثناء عملية التحميص الناعم للصور إلى إتلاف رقاقة 300 مم قبل أن تصل حتى إلى عملية التعرض. تقاوم الأطباق الساخنة التقليدية تراجع الحواف، ويستمر التأخر الحراري في خلق صداع قابل للتكرار من دفعة إلى أخرى. تحتاج إلى نهج حراري يتماشى مع الطلاء الدوراني ويصل إلى الهدف في عملية الليثوغرافيا.
ما يهم تحت الغطاء نقوم بتشغيل عملية التحميص المسبق للصور باستخدام سخانات الأشعة تحت الحمراء: حرارة سريعة مشعة مع تحكم دقيق في درجة الحرارة. تستجيب عناصر الأشعة تحت الحمراء القصيرة الموجة في أقل من ثانية، لذا فإن التأخر الذي يؤدي إلى عدم التجانس داخل الرقاقة قد زال. تصل درجة حرارة التجانس على مستوى الرقاقة إلى ±0.1 مئوية عبر السطح بالكامل، ويحافظ تكرار نقطة الضبط ضمن ±0.2 مئوية من تحول إلى آخر. هذه السخانات تعمل بشكل مريح في غرف نظيفة من الفئة 1–100، مع عدم وجود انحرافات جزيئية وانبعاثات منخفضة. يحافظ التحكم في الحلقة المغلقة على استقرار الميزانية الحرارية، لذا تبقى الأبعاد الحرجة ضمن المواصفات بعد التحميص الناعم والتعرض الذي يتبعه. لماذا هذا مهم في معالجة الصور التحميص الناعم هو المكان الذي يتم فيه إزالة المذيبات وتحديد إجهاد الفيلم. مع الأشعة تحت الحمراء، يتم توجيه الطاقة مباشرة إلى المقاومة، وليس الحامل، لذا يتبخر المذيب بشكل أسرع دون تجاوز. تحصل على سماكة متسقة، وكثافة عيوب أقل، ونعومة حواف أنظف. يعمل النظام 24/7 مع صيانة قليلة، ويستهلك طاقة أقل من أدوات الحمل الحراري، ويقلل من وقت الدورة دون إضافة تكلفة تشغيل. ما تحتاج إلى مراقبته تعتمد أداء الأشعة تحت الحمراء على الانبعاثية والانعكاسية، لذا قد تحتاج الحزم ذات المحتوى المعدني العالي إلى إعادة معايرة نقطة الضبط وإعادة توازن الطاقة في المناطق. يتطلب التركيب رؤية واضحة ومحاذاة نظيفة لتجنب النقاط الساخنة. هناك فترة تشغيل قصيرة لتحديد الانبعاثية وضبط ملفات المناطق، ولكن بمجرد الانتهاء من ذلك، يفتح نافذة العملية وتبقى عمليات التحميص مستقرة وقابلة للتكرار، يومًا بعد يوم.