如何保持您的100级洁净室处于清洁状态
在100级洁净环境中，哪怕只有一小片灰尘存在，都会带来严重的问题。如果加热元件会释放出颗粒物或气体，那就相当于把废料扔进了洁净室里。 普通的线圈或低质量的陶瓷加热器根本无法满足这种需求。它们容易碎裂、漏气，从而破坏整个洁净环境。因此，我们选择使用高纯度的合成石英红外灯。
为什么选择石英灯
我们使用的都是纯度极高的熔融石英。它的优点在于，在高温下也不会释放任何气体。 石英外壳能够将钨丝完全封装起来，不会有任何物质泄漏出来。没有金属氧化物颗粒，也不会出现其他问题。 最棒的是，这些灯利用的是辐射加热方式，而非对流加热。这样一来，那些令人讨厌的颗粒物就会留在原地，不会影响到设备。
优点与缺点
这类灯的功率密度非常高。这样设计的目的是让设备不必占据太多空间。 当电压升高时，热量会立刻产生。这有助于实现精准的温度控制。您可以在几秒钟内达到目标温度。速度非常快。 不过，也有缺点。 如此高的热量会对石英管造成巨大压力。如果安装不当或施加的压力过大，石英管就可能会破裂。所以，一定要确保设备有足够的空间来容纳石英管的膨胀。
如何将它们安装在您的设备上
我们设计这些灯时，考虑到了便于更换的特点。无需复杂操作。 我们使用标准的连接器，因此您可以轻松地将其连接起来。无需进行复杂的焊接操作，也就不用担心铅或助焊剂会污染洁净室环境。 此外，石英表面经过抛光处理，因此不会出现局部过热的情况，300毫米的晶圆可以均匀受热。 最后一点建议：请注意电源的稳定性。如果电压出现波动，就会导致钨丝过早损坏。保持电压稳定，就能让这些灯更长久地使用下去。