Trong quy trình xử lý phim quang hóa, chỉ cần sự chênh lệch nhiệt độ 0,5°C trong quá trình nung phim quang hóa thôi cũng đủ khiến những sản phẩm tốt bị biến thành rác thải. Các wafer phải chờ đợi trong thời gian dài; lịch trình sản xuất bị xáo trộn; số lượng hạt bụi trong không khí tăng lên. Chúng tôi đã thiết kế bộ gia nhiệt dành cho quy trình xử lý bán dẫn nhằm ngăn chặn những tổn thất này ngay từ đầu.
Những yếu tố quan trọng về mặt kỹ thuật
Bộ gia nhiệt này được chế tạo từ chất liệu thạch anh, có khả năng tạo ra sóng hồng ngoại cường độ cao. Nhiệt độ được kiểm soát ở mức ±0,1°C, được đo bằng các cặp nhiệt điện đã được hiệu chuẩn. Bộ gia nhiệt này hoạt động ổn định và có thể tái tạo lại chương trình nung một cách chính xác, giúp duy trì độ ổn định của nhiệt độ trong suốt quá trình sản xuất.
Tại sao nó hiệu quả trong thực tế?
Trong quy trình xử lý phim quang hóa, độ ổn định của nhiệt độ có vai trò quan trọng trong việc kiểm soát độ chính xác của các đường nét trên wafer. Bộ gia nhiệt của chúng tôi giúp ổn định nhiệt độ trong khu vực xử lý, giảm thiểu sự chênh lệch nhiệt độ giữa các vùng trên wafer, từ đó giảm thiểu việc phải làm lại sản phẩm. Khả năng hoạt động trong môi trường phòng sạch và việc loại bỏ hoàn toàn hạt bụi giúp giảm tỷ lệ sản phẩm bị lỗi. Việc duy trì chu kỳ xử lý ổn định và lặp đi lặp lại giúp rút ngắn thời gian xử lý mỗi wafer và tiết kiệm năng lượng.
Những điều bạn cần biết
Việc lắp đặt bộ gia nhiệt đòi hỏi phải đảm bảo sự căn chỉnh chính xác với buồng xử lý, cũng như có mối liên kết nhiệt tốt. Bộ gia nhiệt hoạt động tốt nhất khi được điều chỉnh sao cho phù hợp với khối lượng nhiệt và dòng khí trong buồng xử lý. Nếu không, sự chênh lệch nhiệt độ sẽ xảy ra. Bạn nên kiểm tra chất lượng bộ gia nhiệt sau mỗi 2.000 giờ hoạt động, và luôn chuẩn bị sẵn các bộ phận thay thế – vì chúng rất cần thiết khi bạn cần chúng nhất. Chúng tôi cũng chỉ định rõ loại kết nối, điện áp và kích thước của bộ gia nhiệt để đảm bảo nó có thể hoạt động tốt trong môi trường phòng sạch. Tuy nhiên, việc lắp đặt vẫn cần sự phối hợp giữa các bên liên quan.