Tận dụng tối đa khả năng làm khô wafer
Khi vận hành thiết bị rửa và sấy wafer, mục tiêu rất đơn giản: làm cho wafer khô hoàn toàn một cách nhanh chóng, mà không làm hỏng bề mặt wafer hay để các chất bẩn bám vào bề mặt của nó.
Để đạt được điều này, chúng ta sử dụng các bóng đèn hồng ngoại chống thấm nước. Nhưng bí quyết thực sự không nằm ở chính bóng đèn, mà nằm ở những tấm phản xạ được phủ bằng vàng mà chúng ta sử dụng kèm theo bóng đèn đó.
Với các tấm phản xạ bằng nhôm thông thường, chúng cũng ổn, nhưng chúng hấp thụ quá nhiều năng lượng. Ngược lại, vàng có khả năng phản xạ lại một tỷ lệ lớn ánh sáng hồng ngoại. Thay vì để năng lượng bị lãng phí, chúng ta có thể sử dụng toàn bộ năng lượng đó để làm khô wafer.
Tại sao lại chọn vàng?
Đó là vì việc lãng phí năng lượng là điều cần tránh. Khi sử dụng bóng đèn công suất cao, một lượng lớn nhiệt sẽ được tỏa ra. Các tấm phản xạ bằng vàng giúp giữ lại năng lượng đó và đưa nó trở lại nơi cần thiết. Kết quả là bề mặt wafer sẽ ở nhiệt độ cao hơn, mà không cần tăng công suất đèn. Đó không phải là việc tăng công suất, mà là việc đảm bảo rằng năng lượng hiện có được sử dụng một cách hiệu quả.
Những điểm khó khăn
Vì chúng ta đang xử lý các wafer trong môi trường ẩm ướt và có nhiều hơi hóa chất, chúng ta cần niêm phong các đầu dây của bóng đèn để bảo vệ chúng khỏi các sự cố ngắn mạch. Nhưng chúng ta cũng cần chú ý đến việc kiểm soát nhiệt độ. Vì các tấm phản xạ bằng vàng có khả năng tập trung nhiệt rất tốt, nên điểm tập trung nhiệt sẽ rất cao. Nếu băng tải gặp sự cố hoặc wafer bị để lâu dưới ánh đèn, bề mặt wafer sẽ bị quá nhiệt. Đó là lý do tại sao chúng tôi khuyên nên sử dụng các bộ điều khiển PID chính xác. Điều này giúp duy trì nhiệt độ ổn định và loại bỏ các điểm nóng nguy hiểm.
Lợi ích
Khi phương pháp này được áp dụng, kết quả sẽ rất tốt. Bạn không cần sử dụng quá nhiều bóng đèn để đạt được nhiệt độ mong muốn. Điều này giúp giảm diện tích máy móc cần sử dụng, đồng thời giảm áp lực lên bảng điều khiển điện. Bạn cũng có thể đạt được tốc độ làm khô nhanh hơn, và bề mặt wafer sẽ được làm khô một cách đồng đều. Đó chính là cách thông minh để tận dụng tối đa mọi watt năng lượng có sẵn.