Під час сушіння захисного шару не йдеться про яке-небудь помірне нагрівання. Це є критичною умовою, просто так і все.
Зміна температури на 1,5°C призводить до нерівномірності товщини шару на пластині, що призводить до зупинки наступного циклу літографії. Якщо ви хочете отримати продукцію без жодних дефектів, то цей тепловий пристрій мусить функціонувати стабільно – а не як ще одна змінна, яку потрібно контролювати.
Що є важливим у процесі
Ми розробили систему на основі короткохвильового інфрачервоного випромінювання з використанням кварцово-галогенових емітерів. Це дозволяє швидко передавати енергію та зберігати її на поверхні пластини.
Ключовою вимогою є однорідність температури – ±0,1°C по всій площі пластини під час процедури сушіння. Система керування вимірює температуру безпосередньо на самому шарі за допомогою каліброваних приладів, а не через повітря в камері. Таким чином параметри керування відповідають саме тим значенням, які мають значення.
Стандарти чистої кімнати
Стандарти чистої кімнати становлять клас 1–100; використовуються матеріали з низьким рівнем випарів, а також система ламінарного потоку, яка запобігає утворенню частинок. Повторюваність результатів забезпечується завдяки точному контролю температури, часу та швидкості нагрівання. Таким чином кожна партія продукції має однакові параметри термічної обробки.
Чому ця система ефективна на практиці
Ця система розроблена для процедури сушіння захисного шару відразу після його нанесення. У цей момент необхідно позбутися вологи та розчинників, не пошкоджуючи сам шар. Швидке нагрівання скорочує час перебування пластини в камері, що зменшує ризик утворення оксидного шару перед наступним етапом обробки. Коли процедура сушіння є стабільною, контроль критичних розмірів покращується, а кількість дефектів зменшується – що безпосередньо позитивно впливає на якість продукції.
Що потрібно врахувати під час планування
Система потребує належної електропостачальної та заземлювальної інфраструктури, яка відповідає її характеристикам щодо ЕМІ. Також профіль нагрівання мусить відповідати особливостям самого захисного шару. Налаштування системи відбувається швидко – достатньо лише налаштувати потужність емітерів та швидкість нагрівання. Після цього процес залишається під контролем. Але якщо змінюється тип захисного шару, профіль нагрівання потрібно перевірити знову. Це є необхідною умовою для забезпечення послідовності процесу.