На виробничому майданчику тепловий зрив під час soft bake або hard bake не просто знижує вихід продукції — він її руйнує. Коли вакуумний нагрівач Leybold починає відхилятися, профілі фоторезиста руйнуються, однорідність CD змінюється, а зміщення есінгу збільшується. Ми виготовили ці запасні частини вакуумних нагрівачів Leybold, щоб підтримувати точність теплового балансу цикл за циклом.
Ось що справді важливо під капотом. Нагрівальні збірки забезпечують термічну однорідність на рівні Wafer із точністю ±0,1°C по всій площі чаку, тож ваші профілі soft bake і hard bake будуть повторюваними — незалежно від того, працюєте ви з г-лінією, i-лінією чи KrF резистами. Кварцово-галогенові елементи з короткохвильовим випромінюванням забезпечують швидкі, чисті підйоми температури без виділення летких сполук.
І оскільки мова йде про чисті приміщення класу 1–100, матеріали мають низький рівень виділення летких речовин, а конструкція не генерує частинок. Це підтримує стабільний рівень частинок під час литографії. Вакуум забезпечує стабільність заданої точки, що захищає критичні розміри і запобігає прояву стохастичних дефектів.
У відділеннях литографії, що працюють у режимі 24/7, ці запасні частини підтримують стабільний час роботи обладнання, з прогнозованими інтервалами обслуговування і відтворюваністю режимів випікання, на які можна покластися. Точніший тепловий контроль дозволяє скоротити час випікання без порушення профілю, що знижує енергоспоживання і одночасно покращує чутливість резиста та селективність есінгу. Результатом є прискорені цикли, менше переробок і стабільний контроль CD від пілотного запуску до серійного виробництва.
Кілька практичних зауважень перед заміною. Інтерфейс має відповідати — точно по розмірах Leybold, по силових клемах і типу роз’єму. Перевірте сумісність чаку і матеріалів вакуумного ущільнення, а також переконайтеся, що ваш контролер може замкнути контур по кривій відгуку нагрівача. Плануйте профілактичну заміну відповідно до циклів нагріву, щоб уникнути несподіваних простоїв.