Fabrikada termal bütçe bir öneri değil—bir taahhüttür. Yarı iletken plaka üzerinde yarım derece dalgalanma, kritik boyutların kaymasına, doygunluk...

Lambanız Mattson RTP cihazınızda arızalandığında, sadece bir duruş söz konusu değildir. Termal bütçeniz kaybolur, fotoresist üzerindeki bake profili...