Waferlerin yıkanıp kurutulmasından en iyi şekilde yararlanmak için ne yapmalısınız?
Yıkama işlemi sırasında hedef oldukça basittir: Waferleri hızlı bir şekilde tamamen kuru hale getirmek, ancak substratın yanmasına veya yüzeyde herhangi bir madde birikmesine izin vermemek.
Bunu başarmak için su geçirmez kızılötesi lambalar kullanılır. Ancak asıl sır lambanın kendisinde değil, onunla birlikte kullanılan altın kaplamalı yansıtıcılardadır.
Standart alüminyum yansıtıcılar fena sayılmaz, ancak çok fazla enerji emerler. Altın ise farklıdır; kızılötesi ışığın daha büyük bir kısmını geri yansıtır. Böylece ısı, cihazın gövdesine aktarılmak yerine doğrudan wafer üzerine gönderilir.
Neden altın kullanılır? Mesele israfı azaltmaktır. Yüksek güçlü bir lamba kullanıldığında, çok miktarda ısının geriye yayılması kaçınılmazdır. Altın kaplamalı yansıtıcılar bu israf edilen enerjiyi yakalayıp tekrar hedefe yönlendirir.
Sonuç olarak, lambaların gücünü artırmadan daha yüksek yüzey sıcaklıkları elde edilir. Burada amaç daha fazla güç eklemek değil, mevcut gücün doğru yere gitmesini sağlamaktır.
Zorlayıcı noktalar Yıkama işlemleri sırasında nem ve kimyasal buharlar her yerdedir. Filamentlerin zarar görmemesi ve olası kısa devrelerin önlenmesi için cihazın uçları kapatılır.
Ancak termal denge konusunda dikkatli olmak gerekir. Altın kaplamalı yansıtıcılar ısıyı yoğunlaştırdığı için odak noktası oldukça yüksek sıcaklıklara ulaşabilir. Eğer konveyör arızalanırsa veya bir wafer lambanın altında biraz fazla süre kalırsa, substrat aşırı ısınır. Bu yüzden hassas PID kontrol cihazları kullanılması önerilir. Bu sayede her şey düzenli kalır ve tehlikeli sıcak noktalar ortadan kalkar.
Faydaları Bu yöntem işe yaradığında harika sonuçlar elde edilir. Hedef sıcaklığa ulaşmak için daha az lambaya ihtiyaç duyulur. Bu da makinenin boyutlarının küçülmesini sağlar ve elektrik panellerinin aşırı yük altında kalmamasını sağlar. Ayrıca, waferin tüm yüzeyinde eşit şekilde kuruma sağlanır. Bu, her voltajdan maksimum verim elde etmenin akıllıca bir yoludur.