บนพื้นโรงงาน การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิในขั้นตอน soft bake หรือ hard bake ไม่เพียงแต่ส่งผลต่ออัตราผลผลิตเล็กน้อย — แต่ยังสามารถทำลายมันได้ เมื่อเครื่องทำความร้อนสูญญากาศ Leybold เริ่มเบี่ยงเบน โปรไฟล์ของ photoresist จะยุบตัว ความสม่ำเสมอของ CD จะผิดเพี้ยน และเกิด etch bias เราจัดทำอะไหล่เครื่องทำความร้อนสูญญากาศ Leybold เหล่านี้เพื่อรักษางบประมาณความร้อนให้ถูกต้องในแต่ละรอบการทำงาน
นี่คือสิ่งที่สำคัญภายใต้ฝาครอบ ชุดเครื่องทำความร้อนสามารถควบคุมความสม่ำเสมอของอุณหภูมิระดับเวเฟอร์ตามชั้น ±0.1°C ทั่วทั้ง chuck ทำให้โปรไฟล์ soft bake และ hard bake ซ้ำได้อย่างแม่นยำ — ไม่ว่าคุณจะใช้เรซิสต์แบบ g-line, i-line หรือ KrF องค์ประกอบ quartz-halogen ที่มีการปล่อยคลื่นสั้นช่วยให้คุณได้การเพิ่มอุณหภูมิที่รวดเร็วและสะอาดโดยไม่เกิดการปล่อยก๊าซ
และเนื่องจากเรากำลังพูดถึงพื้นที่ cleanroom ระดับ Class 1–100 วัสดุที่ใช้ต้องมีการปล่อยก๊าซต่ำ และชุดประกอบไม่ปล่อยฝุ่นละออง ซึ่งช่วยรักษาจำนวนอนุภาคให้คงที่ในระหว่างขั้นตอน lithography ภายใต้สภาวะสุญญากาศ ความเสถียรของเซ็ตพอยต์จะถูกรักษาไว้ ซึ่งช่วยปกป้องมิติเชิงวิศวกรรมที่สำคัญและป้องกันความผิดปกติแบบ stochastic ไม่ให้เกิดขึ้น
ในพื้นที่ lithography ที่ทำงานตลอด 24 ชั่วโมง 7 วัน อะไหล่เหล่านี้ช่วยรักษาเวลา uptime ให้คงที่ พร้อมช่วงเวลาบำรุงรักษาที่คาดการณ์ได้และความซ้ำซ้อนของการอบที่เชื่อถือได้ การควบคุมอุณหภูมิที่เข้มงวดขึ้นช่วยให้ลดเวลาการอบโดยไม่ทำลายโปรไฟล์ ส่งผลให้ลดการใช้พลังงานพร้อมทั้งปรับปรุงความไวของเรซิสต์และการเลือกสรรในการกัดกร่อน ผลลัพธ์คือรอบการทำงานที่เร็วขึ้น ลดจำนวนล็อตที่ต้องแก้ไข และควบคุม CD ให้คงที่ตั้งแต่การผลิตต้นแบบจนถึงการผลิตจำนวนมาก
ก่อนที่จะเปลี่ยนชิ้นส่วน มีข้อควรพิจารณาเล็กน้อย อินเทอร์เฟซต้องตรงกัน — ขนาด Leybold, เทอร์มินัลไฟฟ้า และชนิดของคอนเน็กเตอร์ ต้องตรงกันอย่างแม่นยำ ตรวจสอบความเข้ากันได้ของ chuck และวัสดุที่ใช้ในการปิดผนึกสุญญากาศ รวมถึงตรวจสอบให้แน่ใจว่าเครื่องควบคุมสามารถปิดลูปตามเส้นโค้งการตอบสนองของเครื่องทำความร้อนได้ วางแผนการเปลี่ยนอะไหล่ป้องกันล่วงหน้าตามรอบความร้อนเพื่อหลีกเลี่ยงเวลาหยุดทำงานโดยไม่คาดคิด