Na linii produkcyjnej wysuszanie fotorezystu to nie coś dodatkowego – to element kluczowy w procesie produkcji. Nawet niewielka odchylenia w procesie wysuszania mogą doprowadzić do tego, że wymiary krzemowej płytki staną się niestabilne. Jeśli nie uda się zapewnić jednolitości podczas procesu wysuszania, to jakość produktu będzie zła. Stworzyliśmy specjalne panele grzewcze na bazie ceramiki, które pomagają kontrolować te wahania, dzięki czemu urządzenia do litografii mogą pracować 24/7 przy zachowanej stabilności temperatury.
Co jest istotne z technicznego punktu widzenia? Te panele wykorzystują emiterów podczerwieni typu ceramicznego, które umożliwiają szybkie i precyzyjne ogrzewanie. Jednolitość temperatury na powierzchni płytki wynosi ±0,1°C, a powtarzalność efektów jest stała za każdym razem. Konstrukcja tych paneli sprawia, że nie powstaje żadnych cząstek kurzu, więc poziom czystości w pomieszczeniu pozostaje na poziomie klasy 1–100. Dostawa energii jest stabilna, a temperatura jest dokładnie kontrolowana, dzięki czemu parametry fotorezystu pozostają stałe pomiędzy poszczególnymi partiami produktu.
To właśnie sprawia, że te panele nadają się do użytku w produkcji: potrzebna jest energia, która dociera szybko, pozostaje na miejscu i nie zakłóca procesu produkcji. Nasze panele umożliwiają precyzyjne kontrolowanie temperatury, zmniejszają jej przekroczenia i skracają czas nagrzewania, bez utraty kontroli nad procesem. Wynikiem jest mniej produktów wymagających korekty, lepsza kontrola wymiarów oraz możliwość planowania produkcji. Zużycie energii również spada – efektywność emiterów sprawia, że energia jest dostarczana tam, gdzie jest potrzebna, a nie marnowana na ściany komory.
Instalacja polega na dopasowaniu rozmiarów paneli do urządzeń oraz właściwym połączeniach elektrycznych. Panele najlepiej funkcjonują w czystym, suchym powietrzu przy stabilnej napięciu sieciowym. Jeśli napięcie spadnie poniżej dopuszczalnych wartości, efektywność paneli będzie słaba. Należy z góry zaplanować budżet cieplny i odpowiednie odległości, aby panele mogły funkcjonować skutecznie w ramach geometrii komory.