Op de productielijn is het verhitten van de fotorecristallen geen ‘handigheidje’ – het is juist een essentieel onderdeel van het proces. Een te zachte verhitting kan al tot problemen leiden: de belangrijke afmetingen van de wafer gaan dan uit de hand. Als er geen consistentie is bij het harde verhiten, zal de kwaliteit van de producten achteruitgaan. We hebben onze keramische infraroodverwarmerpanelen ontworpen om deze variabiliteit zo veel mogelijk te beperken. Hierdoor kunnen de lithografiecellen 24/7 worden gebruikt, met behoud van de benodigde thermische controle.
Wat technisch gezien belangrijk is: Deze panelen maken gebruik van keramische infraroodemissies die snel en nauwkeurig warmte kunnen leveren. De uniformiteit op het oppervlak van de wafer blijft binnen ±0,1°C, en de repetitibiliteit blijft constant van cyclus tot cyclus. Het ontwerp zorgt er bovendien voor dat er geen deeltjes worden gegenereerd, zodat het aantal deeltjes in de schone ruimte binnen de categorie 1–100 blijft. De stroomvoorziening is stabiel, waardoor de thermische controle behouden blijft. Hierdoor blijven de eigenschappen van de fotorecristallen consistent van batch tot batch.
Dit maakt het mogelijk om het proces in productie te laten werken: er moet snel warmte worden geleverd, zonder dat dit invloed heeft op de omgeving waarin het proces plaatsvindt. Onze panelen zorgen voor precieze verhittingspatronen, waardoor temperatuurschommelingen worden verminderd en de tijd die nodig is voor het verhitten wordt verkort, zonder dat de controle verloren gaat. Het resultaat is minder herwerkingswerk, betere controle over de afmetingen van de producten, en een betrouwbare opbrengst. Ook het energieverbruik neemt af: de emissie-efficiëntie zorgt ervoor dat de warmte precies daar terechtkomt waar het nodig is, zonder dat er energie verspild wordt aan de wanden van de ruimte.
De installatie is simpel: de panelen moeten passen in de ruimte waar ze gebruikt gaan worden. Zorg ervoor dat de afmetingen van de panelen overeenkomen met die van uw apparatuur, en dat de elektrische verbindingen goed werken met het bestaande systeem. De panelen werken het best in schone, droge lucht en bij een stabiele spanning. Als de spanning te laag is, zal de prestatie van de panelen achterblijven. Plan van tevoren goed hoeveel warmte er nodig is en wat de vereiste ruimtes zijn, zodat de panelen goed kunnen functioneren in uw productieruimte.