MEMSセンサーワイヤー用乾燥ヒーター

破片の発生を防ぐ：MEMSウエハーを清潔に保つ MEMS工場では、赤外線ランプが故障することは単なる迷惑事ではありません。それはまさに悪夢です。 重負荷がかかった際に石英管が破損すると、単に動作しなくなるだけでなく、実質的に爆発し、微細なガラス片や金属片がウエハーの表面に飛び散ります。そうなれば、...