Come mantenere una sala pulita di classe 100 veramente pulita
Quando si gestisce una sala pulita di classe 100, anche una sola particella di polvere o una piccola quantità di gas durante il riscaldamento del wafer rappresenta un problema serio: può causare danni gravi. La maggior parte degli elementi riscaldanti tradizionali non è in grado di affrontare queste situazioni. Essi si espandono e si contraggono durante il riscaldamento, e questo movimento costante fa sì che vengano liberate delle micro-particelle. È davvero un incubo per la qualità dei prodotti ottenuti.
Per risolvere questo problema, utilizziamo lampade a radiazioni infrarosse realizzate con quarzo sintetico ad alta purezza.
Perché il quarzo è importante
Utilizziamo silice fusa priva di quasi tutte le impurità. Questo evita quel fastidioso effetto di accumulo di polvere che si verifica con i materiali meno pregiati.
Queste lampade emettono radiazioni infrarosse a breve lunghezza d’onda. Invece di riscaldare tutto l’aria intorno al wafer, l’energia viene diretta direttamente sulla superficie del wafer stesso. Questo riduce notevolmente le correnti convettive che solitamente causano l’ascesa della polvere sul piano di lavoro. Inoltre, il quarzo è chimicamente inerte: non reagisce con i gas presenti nella stanza, quindi il wafer rimane esattamente come dovrebbe essere.
Dettagli tecnici riguardo alla progettazione
Se si effettua la deposizione di strati sottili o processi di essiccazione, è fondamentale avere precisione elevata. Noi progettiamo queste lampade in modo che il calore venga distribuito in modo uniforme su tutto il wafer. A seconda delle esigenze, è possibile utilizzare quarzo trasparente per permettere il passaggio di il più possibile di radiazioni infrarosse, oppure aggiungere rivestimenti specifici per modificare la lunghezza d’onda delle radiazioni.
Utilizziamo anche elettrodi rivestiti d’oro o ad alto contenuto di nichel per evitare l’ossidazione ai punti di sigillamento. Se il sigillamento dovesse fallire, il gas alcalino uscirebbe e il filamento della lampada si brucierebbe immediatamente. Manteniamo quindi delle tolleranze molto strette, in modo da poter sostituire facilmente la lampada senza dover dedicare tutto il pomeriggio alla sua ricalibrazione.
Alcune cose da tenere in considerazione
Queste lampade ad alta intensità generano una grande quantità di calore. Mentre il wafer riceve esattamente il calore di cui ha bisogno, la struttura della lampada ne subisce le conseguenze negative. È necessario assicurarsi che il sistema di raffreddamento funzioni correttamente. Se il flusso d’aria è troppo debole, il calore potrebbe deformare i supporti su cui è montata la lampada. Per evitarlo, consigliamo l’uso di un sistema di raffreddamento a acqua o di aria forzata ad alta velocità. Basta semplicemente mantenere fredde le parti che non devono riscaldarsi. Tutto qui.