
श्रैपनेल से बचें: अपने क्लीन रूम को हीटरों की खराबी से सुरक्षित रखें
यदि आप उच्च-लोड वाले वेफरों का उत्पादन कर रहे हैं, तो आपको इस भयावह स्थिति का अनुभव होगा। अगर कोई एक ही लैंप खराब हो जाता है, तो पूरा उत्पादन बर्बाद हो जाता है।
यह सिर्फ ऊष्मा के कारण ही नहीं होता… जब क्वार्ट्ज ट्यूब खराब हो जाती है, तो वह क्लीन रूम में काँच के टुकड़ों एवं टंगस्टन फिलामेंटों का स्रोत बन जाती है… यह बहुत ही खतरनाक स्थिति है… और इसकी लागत भी बहुत अधिक है।
इसीलिए हम अपने इन्फ्रारेड हीटरों को “सबसे खराब स्थिति” को ध्यान में रखकर ही डिज़ाइन करते हैं।
गंदगी को नियंत्रित रखना
हम उच्च-शुद्धता वाले कृत्रिम क्वार्ट्ज का उपयोग करते हैं… क्योंकि यह तेज़ तापमान परिवर्तनों को सह सकता है… लेकिन हम केवल काँच पर ही भरोसा नहीं करते… हम अपने लैंपों को विशेष क्वार्ट्ज कवरों/सुरक्षा ढालों में लपेटते हैं… ऐसा करने से लैंप खराब होने पर उसके टुकड़े वेफरों तक नहीं पहुँच पाते… सबसे अच्छी बात यह है कि यह सुरक्षा ढाल शॉर्टवेव इन्फ्रारेड विकिरण में कोई बाधा नहीं डालती… इस प्रकार आपको आवश्यक तेज़ तापन भी मिलता है।
विद्युत संबंधी समस्याएँ
वोल्टेज में अचानक परिवर्तन लैंपों को नष्ट कर सकता है… इसे रोकने हेतु हम सटीक वोल्टेज नियंत्रण का उपयोग करते हैं… हम ऐसे मजबूत कनेक्टरों का भी उपयोग करते हैं… क्योंकि यदि कनेक्शन कमज़ोर होगा, तो लैंप खराब हो जाएगा… ऐसी स्थिति में ट्यूब के अंत में गर्म बिंदु बन जाता है… और यहीं से ही ट्यूब में दरारें शुरू हो जाती हैं।
संतुलन बनाए रखना
उच्च-घनत्व वाले हीटरों के मामले में, अधिकतम वॉटेज का उपयोग करने का लालच होता है… लेकिन इसका एक नुकसान भी है… अधिक वॉटेज के कारण क्वार्ट्ज पर बहुत दबाव पड़ता है… यदि लैंप के आसपास पर्याप्त हवा न हो, तो ट्यूब का जीवनकाल कम हो जाता है… आपको उच्च गति एवं सामग्री की सीमाओं के बीच संतुलन बनाना होगा।
हमने इन उपकरणों को ऐसे ही डिज़ाइन किया है कि वे आपके सामान्य क्लीन रूम ओवनों का आसानी से विकल्प बन सकें… हमने यांत्रिक फिटिंग एवं सीलिंग पर भी विशेष ध्यान दिया है… क्योंकि हम चाहते हैं कि आपका उत्पादन लगातार जारी रहे।
यहाँ तक कि जब ट्यूब अपनी सीमा तक पहुँच जाती है एवं खराब हो जाती है, तो आप उसे आसानी से बदल सकते हैं… इसके लिए पूरे क्लीन रूम को साफ करने की आवश्यकता नहीं है।