अपने वेफरों को तेज़ी से एवं पूरी तरह सुखाने हेतु…
जब हम रिन्स स्टेशन चलाते हैं, तो उद्देश्य बहुत ही सरल होता है – वेफरों को जल्दी से, पूरी तरह सूखा देना; बिना उनके सतह पर कोई गंदगी जमने दिए।
इसके लिए हम वॉटरप्रूफ इन्फ्रारेड लैंपों का उपयोग करते हैं। लेकिन असली रहस्य तो वे सोने से ढके हुए रिफ्लेक्टर ही हैं।
सामान्य एल्यूमिनियम रिफ्लेक्टरों का उपयोग ठीक है, लेकिन वे बहुत अधिक ऊर्जा को अपने अंदर सोख लेते हैं। लेकिन सोना अलग है… यह इन्फ्रारेड ऊर्जा का अधिकतम हिस्सा वापस भेज देता है। इस प्रकार, ऊर्जा वेफर पर ही खर्च होती है।
सोने का उपयोग क्यों किया जाता है?
इसका कारण तो ऊर्जा की बचत ही है। जब उच्च-वॉटेज वाले लैंपों का उपयोग किया जाता है, तो बहुत अधिक ऊर्जा वापस भेजी जाती है। सोने से ढके हुए रिफ्लेक्टर उस ऊर्जा को वापस भेज देते हैं।
परिणाम? वेफरों की सतह का तापमान बढ़ जाता है… लेकिन लैंपों की शक्ति में कोई वृद्धि नहीं होती। यह तो बस उस ऊर्जा को सही जगह पर भेजने का ही तरीका है।
चुनौतियाँ…
चूँकि हम रिन्सिंग प्रक्रिया से निपट रहे हैं, इसलिए वहाँ नमी एवं रासायनिक वाष्पें हर जगह मौजूद हैं। हम उपकरणों के छोरों को सील करके उनकी सुरक्षा सुनिश्चित करते हैं।
लेकिन थर्मल बजट का ध्यान रखना आवश्यक है… क्योंकि सोने से ढके हुए रिफ्लेक्टर ऊर्जा को बहुत तेज़ी से केंद्रित कर देते हैं। यदि कन्वेयर खराब हो जाए, या वेफर लैंप के नीचे थोड़ी देर रह जाए, तो वेफर अत्यधिक गर्म हो जाता है। इसीलिए हम प्रीसिज़न PID कंट्रोलरों का उपयोग करने की सलाह देते हैं… ऐसा करने से सब कुछ स्थिर रहता है, एवं खतरनाक गर्मी से बचा जा सकता है।
लाभ…
जब यह तरीका काम करता है, तो बहुत अच्छा होता है… आपको लक्षित तापमान प्राप्त करने हेतु इतने सारे लैंपों की आवश्यकता नहीं होती। इससे मशीन का आकार छोटा हो जाता है, एवं विद्युत पैनलों पर भी अतिरिक्त बोझ नहीं पड़ता।
इससे वेफरों को तेज़ी से एवं समान रूप से सुखाया जा सकता है… यह तो बस हर वॉट से अधिकतम लाभ प्राप्त करने का ही तरीका है।