מחמם איכותי לייבוש חומרי פוטורזיסט
בקו הייצור, לא מעריכים את איכות חימום הפוטורזיסט על סמך הטמפרטורה בלבד. מעריכים אותה על סמך זמן הפעולה היעיל, מספר החלקיקים שנוצרים, ועקביות ה-CD...
מחמם אינפרא אדום לקדם אפיית פוטורזיסט
על רצפת הייצור, אתה יודע מה ההשלכות. שינוי של 1°C במהלך האפייה הרכה של הפוטורזיסט יכול לגרום לפסילה של ופר 300 מ"מ לפני אפילו החשיפה. פלטות חמות...