Parlons de la sécurité électrique lors du séchage des wafer
Lorsque vous séchez des wafer, deux choses sont essentielles : une chaleur répartie de manière uniforme, et zéro fuite électrique. Pour y parvenir, nous utilisons des lampes de séchage associées à des boîtiers à haute réflexivité, afin que toute l’énergie infrarouge soit dirigée là où elle doit aller.
Mais il y a un problème : ces systèmes fonctionnent sous haute tension. Cela signifie que c’est généralement au point de contact entre la lampe et le réflecteur que les problèmes surviennent.
Pourquoi testons-nous chaque unité ?
Nous ne procédons pas à des prélèvements aléatoires. Ce genre de méthode est réservé à ceux qui aiment prendre des risques avec leur matériel. Au contraire, chaque lampe et chaque ensemble de réflecteurs passe par des tests de résistance aux hautes tensions avant même d’être expédiés hors de notre usine.
Pourquoi ? Parce qu’un petit trou dans l’isolation ou un grain de poussière sur le réflecteur peuvent provoquer un arc électrique. Dans une salle propre, un court-circuit n’est pas juste un problème mineur : il peut endommager l’alimentation électrique ou détruire tout un lot de wafer en un instant. C’est un cauchemar que personne ne souhaite.
Les détails concernant l’isolation
Notre priorité est le gap entre l’élément chauffant et la carcasse de l’appareil. Nous soumettons cet élément à des tests de pression haute tension pour vérifier que l’isolation peut résister à ces contraintes. L’objectif est simple : empêcher le courant de circuler dans la carcasse de l’appareil. Si une unité échoue aux tests, elle est rejetée. Nous ne tentons pas de la réparer ; nous la jetons simplement.
Les compromis auxquels vous devez être confronté
Les revêtements à haute réflexivité sont excellents pour l’efficacité thermique, mais ils peuvent poser des problèmes. S’ils ne sont pas appliqués correctement, ils peuvent perturber les circuits de mise à la terre. Vous obtenez certes une meilleure densité de chaleur, mais il faut s’assurer que la mise à la terre de l’appareil est suffisamment efficace pour éviter l’accumulation de charge statique. Nous passons beaucoup de temps à ajuster la géométrie du réflecteur afin d’assurer une isolation électrique parfaite.
Un dernier conseil : lorsque vous connectez ces équipements à votre chambre de séchage, veillez bien aux tolérances. Si l’assemblage est trop serré, vous perdez cet espace d’air entre les composants. Sans cet espace, un arc électrique peut survenir si l’isolation est endommagée. Laissez donc un peu d’espace entre les composants. C’est plus sûr.