Mantener una sala limpia de clase 100 realmente limpia
Cuando se maneja una sala limpia de clase 100, incluso una pequeña partícula de polvo o una burbuja de gas durante el calentamiento del wafer no es solo un problema molesto: es un desastre. La mayoría de los elementos calefactores convencionales no pueden soportar esto. Se expanden y contrayen al calentarse, y ese movimiento constante hace que se liberen micropartículas. Eso representa un verdadero problema para la calidad del producto final.
Para solucionar esto, utilizamos cuarzo sintético de alta pureza en nuestras lámparas de infrarrojos.
Por qué es importante el cuarzo
Utilizamos sílice fundida, con casi cero impurezas. Esto evita ese efecto de “polvo” que se produce con los materiales baratos. Estas lámparas emiten radiación infrarroja de onda corta. En lugar de calentar todo el aire alrededor del wafer, la energía va directamente a su superficie. Esto es muy importante, ya que reduce las corrientes de convección que normalmente levantan el polvo del suelo y lo hacen llegar hasta el wafer. Además, el cuarzo es químicamente inerte; no reacciona con los gases presentes en la cámara, por lo que el wafer permanece en las condiciones adecuadas.
Detalles sobre el diseño
Si se realiza deposición de películas finas o procesos de curado, la precisión es clave. Diseñamos estas lámparas para que el calor se distribuya de manera uniforme sobre todo el wafer. Dependiendo de las necesidades, podemos utilizar cuarzo transparente para permitir que tanto como sea posible de la radiación infrarroja pase a través de él, o bien podemos añadir recubrimientos especiales para ajustar la longitud de onda.
También utilizamos electrodos recubiertos de oro o alto contenido en níquel para evitar la oxidación en los sellos. Si ese sello falla, el gas halógeno se escapa y el filamento se quema rápidamente. Mantenemos las tolerancias muy estrictas para que pueda reemplazar fácilmente la lámpara sin tener que pasar toda la tarde recalibrando todo el sistema.
Algunas cosas a tener en cuenta
Estas lámparas de alta intensidad generan una gran cantidad de calor. Mientras el wafer recibe exactamente lo que necesita, la carcasa de la lámpara también sufre. Es necesario asegurarse de que el sistema de enfriamiento funcione correctamente. Si el flujo de aire es insuficiente, el calor puede deformar los soportes del wafer. Para evitar esto, recomendamos usar un sistema de refrigeración con agua o aire forzado de alta velocidad. Simplemente, hay que mantener frías las partes que no deben calentarse. Así de simple.