In der Fertigung ist das Erhitzen des Fotolacks keine „nette Zusatzfunktion“ – es ist vielmehr eine entscheidende Voraussetzung für einen reibungslosen Produktionsablauf. Eine zu schwache Erwärmung kann dazu führen, dass die kritischen Abmessungen des Chips durcheinandergeraten. Wenn bei der starken Erwärmung keine Homogenität herrscht, geht die Qualität des Produkts verloren. Wir haben unsere keramischen Infrarotheizpanelle so konstruiert, dass diese Unregelmäßigkeiten minimiert werden. Dadurch können die Lithografieanlagen 24/7 ohne Probleme arbeiten.
Was technisch wichtig ist:
Diese Heizpanelle nutzen keramische Infrarotemitter, die für eine schnelle, gezielte Erwärmung sorgen. Die Homogenität auf der Oberfläche des Chips liegt dabei bei ±0,1°C. Zudem bleibt die Wiederholgenauigkeit von Batch zu Batch konstant. Durch die Konstruktion entstehen keine Partikel, wodurch die Partikelzahl im Reinraum bei Klasse 1–100 bleibt. Die Stromzufuhr ist stabil, und es wird eine genaue Kontrolle über die Temperatur erreicht. Dadurch bleiben die Eigenschaften des Fotolacks von Charge zu Charge konstant.
Der Vorteil ist, dass die Heizung schnell wirkt, an Ort und Stelle bleibt und die Prozessbedingungen nicht stört. Unsere Heizpanelle ermöglichen eine präzise Steuerung der Erwärmung, reduzieren Temperaturschwankungen und verkürzen die Aufwärmzeiten, ohne die Kontrolle zu verlieren. Das Ergebnis sind weniger Nacharbeitsbeschaffungen, eine bessere Kontrolle über die Abmessungen des Chips sowie eine Planbarkeit der Produktionsmenge. Zudem wird der Energieverbrauch gesenkt – die Effizienz der Emittoren sorgt dafür, dass die Wärme genau dort ankommt, wo sie benötigt wird, anstatt verschwendet zu werden.
Die Installation ist einfach: Man muss nur sicherstellen, dass die Abmessungen des Heizpanels zu den Anforderungen der Ausrüstung passen und dass die elektrischen Anschlüsse mit dem vorhandenen System übereinstimmen. Die Heizpanelle funktioniert am besten bei sauberer, trockener Luft sowie bei stabilem Netzspannungsniveau. Falls die Spannung unterhalb des zulässigen Bereichs liegt, leidet auch die Leistungsfähigkeit des Panels. Planen Sie daher im Voraus die nötigen Parameter, damit das Panel optimal mit der Geometrie des Reinraums zusammenarbeitet.