Na výrobní lince není tepelný rozpočet návrhem – je to smlouva. Půl stupně kolísání po waferu stačí k posunu kritických rozměrů, narušení profilů...

Když ve vašem nástroji Mattson RTP selže lampa, nejde jen o prostoj. Přicházíte o tepelný rozpočet, profil vypalování na fotoresistu se posouvá a...